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無塵室
無塵室作用
無塵室>>無塵室(Clean Room),亦稱為潔凈室或清凈室。它是污染控制的基礎,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
潔凈度等級標準及規范
經濟和科技發達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準,都規定了有關的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規范》(GBJ73-84),1996年該規范進行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。目前,該規范在重新修訂中。
GBJ73-84規定的潔凈度等級
等級 每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數 每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數
100 《35*100(〈3.5〉
1000 《35*1000(〈35〉 《250(〈0.25〉
10000 《35*10000(〈350〉 《2500(〈2.5〉
100000 《35*100000(〈3500〉 《25000(〈25〉
美國聯邦標準FS209E中的潔凈等級
等級名稱 等級限值
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
容積單位 容積單位 容積單位 容積單位 容積單位
國際單位 英制單位 m Ft m Ft m Ft m Ft m Ft
M1.0 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10 0.283 / /
M1.5 1 1240 35.0 265.0 7.5 106 3 35.3 1 / /
M2.0 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 / /
M2.5 10 12400 350.0 2650 75 1060 30 353 10 / /
M3.0 35000 991.0 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 / /
M3.5 100 / / 26500 750 10600 300 3530 100 / /
M4.0 / / 75700 2140 30900 875 10000 283 / /
M4.5 1000 / / / / / / 35300 1000 247 7
M5.0 / / / / / / 100000 2830 618 17.5
M5.5 10000 / / / / / / 353000 10000 2470 70
M6.0 / / / / / / 1000000 28300 6180 175
M6.5 100000 / / / / / / 3530000 100000 24700 700
M7.0 / / / / / / 10000000 283000 61800 1750